線性磁軸電機在芯片貼裝設(shè)備上的應(yīng)用
時間:2021-07-01瀏覽次數(shù):16772 作者:福瑞特Die bonder,又名固晶機或貼片機,是半導(dǎo)體后道封裝工序的關(guān)鍵設(shè)備,實現(xiàn)將芯片(die)從晶圓(wafer)上自動拾取后,放到引線框架上。
● 高加速度、高速度
由于工藝及效率要求,XYZ的運動速度和加速度要求極高。線性磁軸電機特殊的構(gòu)造,可實現(xiàn)高速度、高加速度運動,加速度可達10G,速度可達4m/s(實測值)。
● 散熱方式:氣冷/水冷
直線電機在高加速度運動狀態(tài)下,線圈的發(fā)熱量明顯上升,普通的散熱方式很難降低線圈和磁軸的溫度,直接導(dǎo)致的結(jié)果是線圈燒壞、高溫使永磁鐵退磁。線性磁軸電機的磁軸可以設(shè)計成多孔結(jié)構(gòu),外部氣體或液體在磁軸內(nèi)部流動帶走熱量,達到降溫的目的。